申请/专利权人：华南师范大学

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN220605198U

主分类号：H01S3/00

分类号：H01S3/00;H01J49/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权

摘要：本实用新型公开了一种焦点位置可调的真空紫外激光产生装置，包括依次连接的入射窗口、非线性光学作用主体气体池、聚焦镜片及载镜法兰、出射窗口，以及聚焦镜片的三维调节装置；所述三维调节装置的下层板通过丝杆和光杆能够在沿光线入射方向移动；上层板与中间板、中间板与下层板之间设置有交叉滚柱导轨，使得上层板能够在垂直于光线入射方向的平面内移动；中间板与下层板中空，波纹管二一端与出射窗口密封固定连接，另一端通过穿过中间板及下层板与上层板密封固定连接；上层板与载镜法兰密封固定连接。本实用新型加入三维调节装置，可以调节真空紫外激光的焦点位置，将真空紫外激光聚焦于待测样品，提高真空紫外激光的利用效率。

主权项：1.一种焦点位置可调的真空紫外激光产生装置，其特征在于，包括依次连接的入射窗口、非线性光学作用主体气体池、聚焦镜片26及聚焦镜片的载镜法兰7、出射窗口11，以及聚焦镜片的三维调节装置；所述聚焦镜片的三维调节装置包括上层板9、中间板12、下层板13、波纹管二14、若干对交叉滚柱导轨、丝杆19、丝杆螺母21、光杆22；所述下层板13通过丝杆19和光杆22能够在沿光线入射方向移动；所述上层板9与中间板12、中间板12与下层板13之间设置有交叉滚柱导轨，使得上层板9能够在垂直于光线入射方向的平面内移动；所述中间板12与下层板13中空，所述波纹管二14一端与出射窗口11密封固定连接，另一端通过穿过中间板12及下层板13与上层板9密封固定连接；所述上层板9与聚焦镜片的载镜法兰7密封固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华南师范大学 一种焦点位置可调的真空紫外激光产生装置

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