申请/专利权人：中畅光达智能装备(苏州)有限公司

申请日：2023-12-07

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117727830A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本发明公开了一种全自动硅片边缘滚涂覆膜设备，包括：上料机构、预定位装置、精准对位装置、一组包边装置、出料机构和产品移栽装置，上料机构设于产品入料口一侧，预定位装置设于上料机构的出料口一侧，精准对位装置设于预定位装置远离上料机构的一侧，包边装置设于精准对位装置的两侧，且两者相互配合；出料机构设于精准对位装置远离预定位装置的一端，产品移栽装置设于机台的一侧，并与预定位装置、精准对位装置和出料机构相配合。本发明通过上料机构对产品进行自动上料，并通过预定位装置对产品进行预定位，再通过精准对位装置对产品进行位置精准调节，一组包边装置对产品两侧进行同步包边，提高其包边的均匀性，有效提高其包边效率。

主权项：1.一种全自动硅片边缘滚涂覆膜设备，其特征在于：包括：上料机构（1），所述上料机构（1）设于产品入料口一侧；预定位装置（2），所述预定位装置（2）设于上料机构（1）的出料口一侧；精准对位装置（3），所述精准对位装置（3）设于预定位装置（2）远离上料机构（1）的一侧；一组包边装置（4），所述包边装置（4）设于精准对位装置（3）的两侧，且两者相互配合；出料机构（5），所述出料机构（5）设于精准对位装置（3）远离预定位装置（2）的一端；产品移栽装置（6），所述产品移栽装置（6）设于机台的一侧，并与预定位装置（2）、精准对位装置（3）和出料机构（5）相配合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中畅光达智能装备(苏州)有限公司 一种全自动硅片边缘滚涂覆膜设备及其工作方法

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