申请/专利权人：惠然科技有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117728281A

主分类号：H01S3/23

分类号：H01S3/23;H01S3/101;H01S3/00;H01L21/66

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：本申请公开了一种激光诱发充电控制装置、方法及带电粒子束检测系统。该激光诱发充电控制装置包括：激光发射单元，其包括至少两组激光发射组件，用于产生不同波段的激光光束，其中每组激光发射组件包括激光发射器和离轴抛物面镜，激光发射器发出的激光光束经离轴抛物面镜进行准直并反射；激光耦合单元，用于接收每组激光发射组件中离轴抛物面镜所反射的激光光束，并将其耦合至同一光路；以及激光调控单元，用于接收光路上的耦合激光光束，并对耦合激光光束依次进行偏转、整形和聚焦反射，使其照射至待测半导体的表面。通过本申请实施例的方案，能够实现多波长耦合的激光光源，以适配更多种晶圆检测场景。

主权项：1.一种激光诱发充电控制装置，其特征在于，包括：激光发射单元，其包括至少两组激光发射组件，用于产生不同波段的激光光束，其中每组激光发射组件包括激光发射器和离轴抛物面镜，所述激光发射器发出的激光光束经所述离轴抛物面镜进行准直并反射；激光耦合单元，用于接收每组激光发射组件中离轴抛物面镜所反射的激光光束，并将其耦合至同一光路；以及激光调控单元，用于接收所述光路上的耦合激光光束，并对所述耦合激光光束依次进行偏转、整形和聚焦反射，使其照射至待测半导体的表面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 惠然科技有限公司 一种激光诱发充电控制装置、方法及带电粒子束检测系统

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