申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司

申请日：2022-06-02

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN115142132B

主分类号：C30B29/36

分类号：C30B29/36;C30B23/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.08.25#专利申请权的转移;2022.10.25#实质审查的生效;2022.10.04#公开

摘要：本发明公开了一种碳化硅晶体生长装置，包括：石墨坩埚，石墨坩埚内部限定形成反应腔，反应腔包括原料盛放区和籽晶安装区，原料盛放区中盛放碳化硅粉料，籽晶安装区中设置有碳化硅籽晶，碳化硅籽晶为棒状籽晶，碳化硅籽晶的轴线与石墨坩埚的轴线垂直；籽晶夹具，包括两个夹持件，两个夹持件在反应腔中相对设置，且夹持于碳化硅籽晶的两个端面上；转动机构，转动机构与夹持件连接，用于驱动夹持件转动。本发明同时还公开了一种大尺寸碳化硅生长方法，本发明碳化硅晶体生长装置通过采用棒状结构的碳化硅籽晶，在长晶过程中，碳化硅籽晶旋转扩径生长，能够突破原有碳化硅籽晶直径尺寸的限制，制得大尺寸的碳化硅晶体。

主权项：1.一种碳化硅晶体生长装置，其特征在于，包括：石墨坩埚，所述石墨坩埚内部限定形成反应腔，所述反应腔包括原料盛放区和籽晶安装区，所述原料盛放区中盛放碳化硅粉料，所述籽晶安装区中设置有碳化硅籽晶，所述碳化硅籽晶为棒状籽晶，所述碳化硅籽晶的轴线与所述石墨坩埚的轴线垂直，所述碳化硅籽晶形成为圆柱状，所述碳化硅籽晶的轴向两端面分别为硅面和碳面；籽晶夹具，包括两个夹持件，两个所述夹持件在所述反应腔中相对设置，且夹持于所述碳化硅籽晶的两个端面上；转动机构，所述转动机构与所述夹持件连接，用于驱动所述夹持件转动，以使长晶时，所述夹持件带动所述碳化硅籽晶绕所述碳化硅籽晶的中心轴线旋转，所述碳化硅粉料受热升华形成的碳化硅蒸气沿所述碳化硅籽晶的周向均匀沉积在所述碳化硅籽晶上，形成具有目标径向截面尺寸的目标晶棒。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 碳化硅晶体生长装置及大尺寸碳化硅晶体的生长方法

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