申请/专利权人：杭州航鹏机电科技有限公司

申请日：2021-02-08

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN112992690B

主分类号：H01L21/48

分类号：H01L21/48

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2021.07.06#实质审查的生效;2021.06.18#公开

摘要：本发明公开了一种集成电路制造工艺，包括以下步骤：a、溅镀；b、光阻涂布；c、曝光；d、显影；e、电镀金；f、后处理；其中，a步骤中所述溅镀机包括主体、抽气机、进料口、出料口、冷却腔、进料仓、进料装置、密封门、工作台；所述进料装置包括移动台、推板、电机、吸气仓、驱动辊、驱动扭簧、驱动绳、吸气机构、进料板、卡槽、进料机构；本发明通过推板的在对产品进行送料的同时启动吸气机构，使进料仓开始进入真空状态；实现了真空进料的效果，使主体内可始终处于真空状态，避免了每次送料都需要进行抽气；提高了溅镀的效率；通过进料机构的设置实现了对产品在进行溅镀前的过渡存放，进一步确保了进料的稳定性，减少了自动进料的行程，进一步提高了溅镀的效率。

主权项：1.一种集成电路制造工艺，其特征在于：包括以下步骤：a、溅镀：采用溅镀机在集成电路芯片表面溅镀金属膜；b、光阻涂布：用光阻涂布机在芯片表面涂覆厚度为15-40微米的光阻；c、曝光：用曝光机对需要生长金凸块位置发生光溶解反应；d、显影：用显影机和显影液，通过浸泡产生化学反应，去除掉曝光区的光阻，将需要生长金凸块的位置打开开窗；e、电镀金：在芯片上光阻开窗区镀10-15微米高度的金凸块；f、后处理：对金凸块表面单独进行电浆处理和金蚀刻处理；其中，a步骤中所述溅镀机包括主体1、设于所述主体1上的抽气机2、设于所述主体1上的进料口3和出料口31、设于所述出料口31处的冷却腔33、设于所述进料口3处的进料仓4、设于所述进料仓4内的进料装置5、设于所述进料仓4上的密封门41、设于所述主体1底部的工作台11；所述进料装置5包括设于所述进料仓4内的移动台51、设于所述移动台51上的推板52、设于所述推板52上的电机53、设于所述移动台51内的多个吸气仓54、设于所述吸气仓54内的驱动辊55、设于所述驱动辊55上的驱动扭簧56、设于所述驱动辊55上的驱动绳57、设于吸气仓54内的吸气机构6、设于所述进料仓4内的进料板58、设于所述进料板58上的卡槽59、设于所述进料仓4内的进料机构7；开始进行溅镀时，先启动抽气机2将主体1内变成真空状态；然后将装有产品的料板放入移动台51上；启动电机53，通过推板52的将料板推至进料口3处；此时在推动的时候，驱动绳57拉动驱动辊55旋转，从而使吸气机构6开始启动；对进料仓4内部进行抽气，同时料板在移动的时，进料板58开始向上移动，率先与移动台51平齐；然后料板卡进卡槽59内；进一步的在进料机构7的作用下，将料板装进主体1内，开始进行溅镀；当溅镀完成后，再送入冷却腔33内进行冷却；所述吸气机构6包括设于所述吸气仓54内的旋转辊61、设于所述旋转辊61内的旋转扭簧62、设于所述旋转辊61内的齿环68、设于所述吸气仓54内壁上的变速齿轮63、设于所述旋转辊61上的吸气绳64、设于所述吸气仓54内的吸气辊65、设于所述吸气辊65上的联动齿轮69、设于所述吸气辊65上的驱动齿轮66、设于所述移动台51内的多个吸气管67、设于所述吸气管67内的吸气组件8；当驱动辊55开始旋转的时候，吸气绳64拉动旋转辊61开始旋转；然后在变速齿轮63的带动下，吸气辊65开始旋转；进一步的通过驱动齿轮66带动吸气组件8开始对进料仓4内部排气；所述吸气组件8包括设于所述吸气管67内的齿条块81、设于所述齿条块81上的齿条弹簧82、设于所述吸气管67一端的第一单向阀83、设于所述吸气管67内的移动框84、设于所述移动框84上的移动弹簧85、设于所述吸气管67内壁上的第一固定块86、设于所述移动框84侧壁上的传动带87、设于所述传动带87上的第二固定块88、设于所述移动框84上的活塞板89、设于所述活塞板89上的第二单项阀890、设于所述移动框84上的连接绳891；当驱动齿轮66开始旋转的时候，带动齿条块81在吸气管67内向右移动；然后拉动移动框84在吸气管67内向下移动；此时传动带87开始旋转；进一步的在第二凸块的带动下，活塞板89向下移动，从而开始吸气；当驱动齿轮66与齿条块81脱离的时候，在在移动弹簧85的作用下，移动框84复位；如此反复，根据打气筒的原理实现了吸气；所述进料机构7包括设于所述进料仓4底部的传送台71、设于所述移动台51内的传送带72、设于所述传送带72上的定位口73、设于所述移动台51内的传动轮74、设于所述传动轮74上的传动扭簧75、设于所述传动轮74上的定位齿76、设于所述传动轮74上的传动绳77及限位机构9；当驱动辊55开始旋转的时候，通过传动绳77拉动传动轮74旋转；然后定位齿76带动传送带72旋转；首先在限位机构9的作用下，进料板58与传送带72连接，从而进料板58随着传送带72向上移动，直至与移动台51上表面平齐；所述限位机构9包括设于所述进料板58内的限位块91、设于所述限位块91上的卡齿92、设于所述进料板58上的进料弹簧93、设于所述限位块91上的第一斜槽94、设于所述进料板58上的第一斜块95、设于所述限位块91上的第二斜槽96、设于所述进料板58上的第二斜块97、设于所述进料仓4上壁端的第一抵块98、设于所述第一抵块98上的第三斜槽99、设于所述进料仓4上壁端的第二抵块990、设于所述进料板58上的棱形块991、设于所述棱形块991上的限位槽992、设于所述进料板58内的三角块993、设于所述棱形块991底部的翻板994、设于所述限位块91上的卡块995、设于所述卡块995上的卡块扭簧996；进料板58在进料弹簧93的作用下与进料仓4底部相抵；此时第一斜块95抵住第一斜槽，从而驱动限位块91向右移动；在移动的过程中，卡块995沿棱形块991表面移动，进而与限位槽992相抵；此时卡齿92与定位口73相扣；当料板被嵌进卡槽59内后，料板一端与第二抵块990相抵，从而带动第二抵块990与第三斜槽99相抵，进一步的驱动第二抵块990与第二斜块97移动，从而驱动限位块91再次向右移动；此时卡块995脱离限位槽992脱离，限位块91开始复位；同时在进料弹簧93的作用下，进料板58向下移动；进一步的料板在传送台71传送至主体1内。

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