申请/专利权人:旭化成株式会社;国立大学法人东海国立大学机构
申请日:2020-09-25
公开(公告)日:2024-03-19
公开(公告)号:CN114342194B
主分类号:H01S5/343
分类号:H01S5/343
优先权:["20190927 JP 2019-177788"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.19#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开
摘要:激光二极管1具备:AlN单晶的基板11;形成在基板上且包含具有n型导电性的氮化物半导体层的n型包层12;形成在n型包层上且包含一个以上量子阱的发光层14;形成在发光层上且包含具有p型导电性的氮化物半导体层的p型包层20;以及,形成在p型包层上且包含含有GaN的氮化物半导体的p型接触层18,p型包层具备p型纵传导层16和p型横传导层17,所述p型纵传导层16包含AlsGa1‑sN0.3≤s≤1,具有随着远离基板而Al组成s变小的组成倾斜,且所述p型纵传导层的膜厚小于0.5μm,所述p型横传导层17包含AltGa1‑tN0t≤1。
主权项:1.一种激光二极管,其具备:AlN单晶的基板;n型包层,其形成在所述基板上,且包含具有n型导电性的氮化物半导体层;发光层,其形成在所述n型包层上,且包含一个以上的量子阱;p型包层,其形成在所述发光层上,且包含具有p型导电性的氮化物半导体层;以及p型接触层,其形成在所述p型包层上,且包含含有GaN的氮化物半导体,所述p型包层具备:p型纵传导层,其包含AlsGa1-sN,具有随着远离所述基板而Al组成s变小的组成倾斜,且所述p型纵传导层的膜厚小于0.5μm,其中,0.3≤s≤1;以及p型横传导层,其包含AltGa1-tN,其中,0t≤1;其中,在所述p型横传导层与所述p型纵传导层的邻接面处,所述Al组成t大于所述Al组成s的最小值。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 旭化成株式会社;国立大学法人东海国立大学机构 激光二极管
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