申请/专利权人：富维薄膜(山东)有限公司

申请日：2021-12-04

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114083865B

主分类号：B32B27/36

分类号：B32B27/36;B32B27/08;B32B27/18;B32B33/00;C08L67/02;C08K3/36;C08J5/18;C09D175/04;C09D7/62;B29C48/08;B29C48/21;B29C48/49;B29C55/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.03.15#实质审查的生效;2022.02.25#公开

摘要：本发明提供一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法，该薄膜总厚度14~16微米，中间三层为ABC结构的聚酯基膜，ABC三层厚度比为4~7:36~42:4~7，A和C层的表面再各自涂布一层厚3~5微米的涂层；所述ABC结构的聚酯基膜，B所用材料为纯PET树脂，A和C层所用材料为含二氧化硅的间苯二甲酸改性PET树脂；所述涂层，由环氧改性水性聚氨酯树脂涂布液经在线涂布工艺得到，其粘接力好、透光率高、抗静电性能优异；本发明采用普通PET树脂和间苯二甲酸改性PET树脂等低成本原料制备出ABC结构的聚酯基膜，并涂覆复合上功能性好的涂层，在降低成本的同时得到了性能良好的光学用聚酯薄膜。

主权项：1.一种五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，其特征在于，所述五层干膜抗蚀剂用聚酯薄膜，总厚度14-16微米，中间三层为ABC三层层状结构组成的聚酯基膜，ABC三层厚度比为4-7:36-42:4-7，在ABC结构组成中A层和C层的表面再各自涂布一层厚度为3-5微米的功能性涂层；所述ABC三层层状结构组成的聚酯基膜，B所用材料为纯PET树脂，A层和C层所用材料为添加二氧化硅的间苯二甲酸改性PET树脂；所述功能性涂层，为水性聚氨酯涂布液经在线涂布工艺得到；所述聚酯薄膜的制备方法，包括水性聚氨酯涂布液的制备，间苯二甲酸改性PET树脂母粒的制备和五层聚酯薄膜的制备；所述水性聚氨酯涂布液的制备，涂布液具体配方为：20-30wt%水性聚氨酯树脂、5-9wt%水性封闭性异氰酸酯交联剂、2-4wt%水性润湿剂、0.3-0.7wt%消泡剂、10-13wt%改性纳米二氧化硅爽滑剂、1.0-1.5wt%抗静电剂、其余用去离子水补足；涂布液制备工艺为：将水性润湿剂加入水性聚氨酯树脂中，1500-2500转分下搅拌15-20分钟后，持续搅拌状态下，依次加入水性封闭性异氰酸酯交联剂，消泡剂，爽滑剂，抗静电剂，去离子水后，2000-3500转分下搅拌10-20分钟后得到水性聚氨酯涂布液；所述改性纳米二氧化硅爽滑剂，制备方法为：10-15wt%盐酸溶液中加入其质量50-60%的硅酸钾，再加入硅酸钾质量3-6%硅烷偶联剂KH560，常温1000-1300转分下搅拌反应2-3小时，再加入硅酸钾质量75-90%的氯化钾和硅酸钾质量40-55%的无水乙醇，900-1200转分速率下搅拌混合0.5-1小时，得到的白色乳浊液体于10000-30000转分条件下高速离心后得到的澄清透明溶液为改性纳米二氧化硅爽滑剂；所述水性聚氨酯树脂为环氧改性水性聚氨酯树脂，环氧成分质量含量为9%；所述水性封闭性异氰酸酯交联剂为朗盛Trixene®BI201、Trixene®DP9C213、Trixene®BI200中的一种；所述水性润湿剂为毕克BYK®-346、BYK®-307和BYK®-333按质量比5:1:1的混合物；所述消泡剂为巴斯夫FoamStar®ST2410、Dehydran1293、FoamStar®A10三种的一种；所述抗静电剂为十四烷基二甲基苄基氯化铵、辛基三甲基氯化铵或十六烷基二甲基苄基氯化铵中的一种；所述间苯二甲酸改性PET树脂母粒，其制备方法为：间苯二甲酸质量含量2.5-5%，熔点为240-249℃的间苯二甲酸改性PET树脂切片，磨成60目以上的粉末，加入二氧化硅粉末和聚酯蜡分散剂，于高速混合机中高速搅拌混合均匀，混匀后的物料喂入双螺杆挤出机，物料经加热、熔融、剪切混合、脱挥、再剪切后通过挤出机模头挤出，经水槽冷却、吹风机吹干后进入切粒机切成间苯二甲酸改性PET树脂母粒；所述二氧化硅粉末，其加入量控制为：在间苯二甲酸改性PET树脂母粒的质量含量为3000-3600ppm，粒径600-1000nm；所述聚酯蜡分散剂，加入量控制为间苯二甲酸改性PET树脂母粒质量的1.5-2.3%；所述五层聚酯薄膜的制备，包括切片预结晶、干燥，熔融、共挤及模头铸片，纵向拉伸，涂布与横向拉伸，牵引切边和收卷，分切和成品入库步骤；所述切片预结晶、干燥，对间苯二甲酸改性PET树脂母粒，间苯二甲酸改性PET树脂，纯PET树脂进行预结晶、干燥，预结晶结晶温度135-165℃，预结晶停留时间13-25min，干燥温度160-175℃，干燥停留时间2-4小时。

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