申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2018-06-12

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN110800087B

主分类号：H01L21/304

分类号：H01L21/304

优先权：["20170727 JP 2017-145293","20170728 JP 2017-146883"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2020.03.10#实质审查的生效;2020.02.14#公开

摘要：本发明提供一种基板处理方法、基板处理液及基板处理装置，所述基板处理方法可抑制图案的倒塌并且削减用于基板干燥的升华性物质的使用量。本发明的基板处理方法包括以下步骤：基板处理液供给步骤S13，其对基板的图案形成面供给基板处理液；凝固步骤S14，其使基板处理液在图案形成面上凝固而形成凝固体；及升华步骤S15，其使凝固体升华而从图案形成面去除；且作为基板处理液，使用以下处理液：其包含熔解状态的升华性物质与溶剂，升华性物质的凝固点高于溶剂的凝固点，且在使升华性物质与溶剂分离的情况下，密度大于基板处理液的升华性物质沉淀；凝固步骤S14中，于在基板处理液供给步骤S13中供给到图案形成面的基板处理液中，使升华性物质分离并沉淀，并使沉淀的升华性物质以成为与图案同等以上的高度的方式凝固。

主权项：1.一种基板处理方法，其特征在于包括：供给步骤，其对基板的图案形成面供给基板处理液；凝固步骤，其使所述基板处理液在所述图案形成面上凝固而形成凝固体；及升华步骤，其使所述凝固体升华，而从所述图案形成面去除；且作为所述基板处理液，使用以下处理液：其包含升华性物质与溶剂，且所述升华性物质的凝固点高于所述基板处理液的凝固点，且在使该升华性物质于所述溶剂中的溶解度降低的情况下，密度大于该基板处理液的过量的升华性物质将会沉淀；所述供给步骤包括在将所述基板处理液供给到所述图案形成面之前，将所述基板处理液的温度调整为所述升华性物质及所述溶剂的熔点以上且低于沸点的温度；所述凝固步骤包括：于在所述供给步骤中供给到所述图案形成面的所述基板处理液中，使所述升华性物质于所述溶剂中的溶解度降低，而使过量的升华性物质沉淀，在使沉淀的升华性物质以成为与所述图案形成面上的图案同等以上的高度的方式凝固后，进一步使所述升华性物质处于饱和状态的液层部分凝固，由此形成所述凝固体；所述升华步骤包括在使所述凝固步骤中凝固的所述液层部分升华后，使凝固的所述升华性物质升华。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理方法、基板处理液及基板处理装置

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