申请/专利权人：无锡芯光互连技术研究院有限公司

申请日：2023-11-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747682A

主分类号：H01L31/0232

分类号：H01L31/0232;H01L31/08;H01L31/028;G02B6/12;G02B6/124;G02B6/126;G01J1/42

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片，偏振复用的光电探测器，包括：硅波导，在预设区域设置有亚波长光栅区；匹配层，位于在亚波长光栅区内部的间隙中及亚波长光栅区的上方；第一锗探测区，位于匹配层的另一侧，将经过匹配层匹配后的光信号中的第一偏振光信号吸收并转化为电信号；第二锗探测区，与硅波导连接，用于吸收光信号中的第二偏振光信号，并将其转化为电信号；复合光信号沿从第一锗探测区对应的硅波导部分至第二锗探测区对应的硅波导部分的方向传播；本方案，无需高性能的偏振分离器便实现将包含多种偏振态的复合光信号中的各种偏振态的光信号均转化为电信号，链路简单，制备效率高，良率高。

主权项：1.一种偏振复用的光电探测器，用于对包括至少两种模式光信号的复合光信号进行复用，其特征在于，包括：硅波导，在预设区域设置有预设周期的亚波长光栅区；匹配层，位于所述在亚波长光栅区内部的间隙中及亚波长光栅区的上方，用于匹配亚波长光栅区所吸收的光信号；第一锗探测区，与所述匹配层连接，位于所述匹配层的相对于亚波长光栅区的另一侧，用于将经过匹配层匹配后的光信号中的第一偏振光信号，并将其转化为电信号；第二锗探测区，位于硅波导的一个端部的上方，与硅波导连接，用于吸收光信号中的第二偏振光信号，并将其转化为电信号；所述复合光信号沿从第一锗探测区对应的硅波导部分至第二锗探测区对应的硅波导部分的方向传播。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡芯光互连技术研究院有限公司 偏振复用的光电探测器、光电探测器芯片及硅基光子芯片

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