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【发明公布】一种柔性曲面玻璃蚀刻设备_赛德半导体有限公司_202311849014.6 

申请/专利权人:赛德半导体有限公司

申请日:2023-12-29

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN117735847A

主分类号:C03C15/00

分类号:C03C15/00;C01B7/19

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要:本发明属于玻璃蚀刻领域,尤其涉及一种柔性曲面玻璃蚀刻设备,它包括托板、摆杆、电机A、方框、电机B、滑座B、电机C、喷酸机构,其中支架上安装有用来放置曲面玻璃的弧形托板并铰接有两个在电机A驱动下绕托板轴线摆动的摆杆,两个摆杆的上端安装有方框,滑座B在电机B和电机C的共同驱动下沿方框所在平面运动于方框内。本发明中的喷酸机构在向蚀刻膜上喷酸对玻璃进行蚀刻的过程中会将HF酸与玻璃化学反应产生的有害气体进行有效回收,保证玻璃时刻中产生的HF酸蒸汽不会散失到工作环境中对工作人员健康造成伤害。

主权项:1.一种柔性曲面玻璃蚀刻设备,其特征在于:它包括托板、摆杆、电机A、方框、电机B、滑座B、电机C、喷酸机构,其中支架上安装有用来放置曲面玻璃的弧形托板并铰接有两个在电机A驱动下绕托板轴线摆动的摆杆,两个摆杆的上端安装有方框,滑座B在电机B和电机C的共同驱动下沿方框所在平面运动于方框内;滑座B中部的滑槽内沿与方框所在平面垂直的方向运动有被电动推杆驱动且对下方托板上曲面玻璃喷酸蚀刻的喷酸机构;曲面玻璃上覆盖有通过毛吸作用向其上蚀刻部位均匀散步HF酸的蚀刻膜;所述喷酸机构包括圆杆、锥筒A、锥筒B、球弯部、球环、锥筒C、喷头、过滤器、气泵、电动推杆,其中圆杆在电动推杆驱动下滑动于滑座B中部滑槽内,圆杆中部液槽的下端安装有喷头,喷头周围安装有锥筒B,锥筒B外安装有锥筒A,锥筒A外安装有锥筒C;锥筒A和圆筒B之间形成的环形腔通过软管与圆杆上的过滤器连通,过滤器通过软管与圆杆上的气泵连通,气泵通过软管与锥筒B和圆筒C之间形成的环形腔连通;锥筒B下端具有内卷的球弯部,锥筒A下端内侧安装有与球弯部同球心的球环。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 赛德半导体有限公司 一种柔性曲面玻璃蚀刻设备

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