申请/专利权人：梁肇文

申请日：2023-09-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740328A

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02;G01J9/00

优先权：["20220914 US 63/406,333"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：光学波前检测装置适于检测光学组件，光学波前检测装置包括转盘模块、光源模块以及波前感测模块。转盘模块适于转动光学组件。光源模块适于在光学组件转动时，提供入射光束适于入射至光学组件，并产生适于从光学组件出射的检测光束。波前感测模块适于在光学组件转动至彼此不同的多个方位角方向时，分别接收检测光束。转盘模块转动于方位角方向时，波前感测模块在每一方位角方向撷取具不同曝光的多个原始图像。本发明还提供一种光学波前检测方法。

主权项：1.一种光学波前检测装置，适于检测一光学组件，其特征在于，该光学波前检测装置包括：一转盘模块，适于转动该光学组件；一光源模块，适于在该光学组件转动时，提供一入射光束入射至该光学组件，并从该光学组件出射一检测光束；一波前感测模块，在该光学组件转动至彼此不同的多个方位角方向时，分别接收该检测光束；以及该转盘模块转动于该些方位角方向时，该波前感测模块在至少一该些方位角方向撷取具不同曝光的多个原始图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 梁肇文 光学波前检测装置及其检测方法

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