申请/专利权人：成川科技(苏州)有限公司

申请日：2023-11-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117735407A

主分类号：B66C13/16

分类号：B66C13/16;H01L21/677;B66C13/48

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种天车运行方法和系统，其中，方法包括：S10：天车沿着轨道行走，所述轨道设有多个地址码；S20：所述天车行进到轨道的一地址码处；S30：所述天车的俯视传感器对与该地址码对应的晶圆盒装卸口进行照射，获取所述晶圆盒装卸口的照射光幕；S40：所述晶圆盒装卸口的照射光幕与该地址码绑定，并进行存储；S50：重复S20‑S40，直至所有晶圆盒装卸口的照射光幕均与对应的地址码绑定并存储。本发明在天车投入使用前得到每一个晶圆盒装卸口对应的照射光幕，能够有效提高后续天车取放晶圆盒的工作效率。

主权项：1.一种天车运行方法，其特征在于：包括：S10：天车沿着轨道行走，所述轨道设有多个地址码；S20：所述天车行进到轨道的一地址码处；S30：所述天车的俯视传感器对与该地址码对应的晶圆盒装卸口进行照射，获取所述晶圆盒装卸口的照射光幕；S40：所述晶圆盒装卸口的照射光幕与该地址码绑定，并进行存储；S50：重复S20-S40，直至所有晶圆盒装卸口的照射光幕均与对应的地址码绑定并存储。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成川科技(苏州)有限公司 天车运行方法和系统

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