申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-08-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117751421A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20210909 US 63/242,410"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本文所提供的实施例总体上包括用于产生波形以对处理腔室中的基板进行等离子体处理的装置、等离子体处理系统和方法。本公开内容的实施例包括用于产生伪阶梯波形的装置和方法，包括：在产生波形的第一阶段期间，将第一电压供应器耦合至输出节点；在产生所述波形的第二阶段期间，将第一电容器耦合在所述输出节点与电接地节点之间；以及在产生所述波形的第三阶段期间，将所述第一电容器和第二电容器耦合在所述输出节点与所述电接地节点之间的串联路径中。

主权项：1.一种波形产生器，包括：第一电压供应器；第一开关，耦合在所述第一电压供应器与所述波形产生器的输出节点之间；第二开关；以及电容器阵列，其中所述第二开关耦合在所述输出节点与所述电容器阵列之间，其中所述电容器阵列包括：第一电容器，耦合至所述第二开关；第三开关，耦合在所述第一电容器与电接地节点之间；第二电容器，选择性地耦合至所述第一电容器与所述第三开关之间的节点；以及第四开关，耦合在所述第二电容器与所述电接地节点之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于对等离子体中的离子能量分布进行数字控制的方法和装置

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