申请/专利权人：同济大学

申请日：2023-11-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740144A

主分类号：G01J1/42

分类号：G01J1/42;G01J1/04;G01J11/00;G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法，该装置包括：分光镜：设于待测激光器后，用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路，分为第一光束和第二光束，分别用于能量监测和光斑形貌采集；能量监测模块：该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和能量计，用于实时监测第一光束的能量波动；光斑形貌采集模块：该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、CCD和二维电机，用于分区采集第二光束的CCD光斑图像，并基于第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接，获得大口径激光光斑形貌。与现有技术相比，本发明具有测量口径大、拼接效果好等优点。

主权项：1.一种大口径激光光斑形貌的测量装置，其特征在于，包括：分光镜2：设于待测激光器1后，用于将所述待测激光器1射出的大口径光束分成两路，分为第一光束和第二光束，分别用于能量监测和光斑形貌采集；能量监测模块：该模块包括依次设于分光镜2之后的聚焦透镜7、第一快门8、第一衰减片9和能量计10，用于实时监测第一光束的能量波动；光斑形貌采集模块：该模块包括依次设于分光镜2之后的第二衰减片3、第二快门4、CCD5和二维电机6，用于分区采集第二光束的CCD光斑图像，并基于所述第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接，获得大口径激光光斑形貌。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 同济大学 一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法

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