申请/专利权人:湖州迈塔兰斯科技有限公司
申请日:2024-01-29
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117741840A
主分类号:G02B3/00
分类号:G02B3/00;G02B1/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本申请提供了一种多层超透镜的加工方法、装置及一种多层超透镜。多层超透镜包括在晶圆的同一表面上沿垂直方向依次设置的N层结构面,N≥2;本申请所提供方法包括:在晶圆的目标表面制备第一层结构面;第一层结构面包含微纳结构阵列以及定位标识;当目标制备的结构面为第M层结构面时,基于在其之前所制备的结构面中的定位标识制备对准窗口,并透过对准窗口,基于在其之前所制备的结构面中的定位标识制备第M层结构面;第M层结构面包含微纳结构阵列;第M层结构面中的微纳结构阵列与在其之前所制备的结构面中的微纳结构阵列位置相匹配;M≤N,并且,M1。本申请所提供方法使得不同结构面中微纳结构阵列之间的相对位置得以精准控制。
主权项:1.一种多层超透镜的加工方法,其特征在于,所述多层超透镜包括在晶圆的同一表面上沿垂直方向依次设置的N层结构面,N≥2;所述方法包括:当目标制备的结构面为第一层结构面时,在所述晶圆的目标表面制备第一层结构面;其中,所述第一层结构面包含微纳结构阵列以及定位标识;当目标制备的结构面为第M层结构面时,基于在其之前所制备的结构面中的定位标识制备对准窗口,并透过所述对准窗口,基于在其之前所制备的结构面中的定位标识制备所述第M层结构面;其中,所述第M层结构面包含微纳结构阵列;所述第M层结构面中的微纳结构阵列与在其之前所制备的结构面中的微纳结构阵列位置相匹配;M≤N,并且,M1。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 湖州迈塔兰斯科技有限公司 一种多层超透镜的加工方法、装置及一种多层超透镜
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