申请/专利权人：京元电子股份有限公司

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117732749A

主分类号：B07C5/34

分类号：B07C5/34;B07C5/344;B65B57/14;B65B63/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请提供一种包括压力源、流体控制模组、测试座及开关阀组件的测试装置。流体控制模组包含连接于压力源的流量控制器、压力计及分流道。测试座包括下压组件、下压底座、针测座、测试基座及测试载盘，下压组件连接下压底座及针测座并能相对测试基座线性位移，且测试基座包括第一流道及第二流道，第一流道连接流量控制器。测试基座上设置测试载盘，半导体元件的输入端及输出端贯穿测试载盘穿入第一流道及第二流道。开关阀组件包含开关阀以控制压力计量测压力值的管道范围。本申请另提供一种测试方法以及包含前述测试装置的测试系统。

主权项：1.一种测试装置，其特征在于，适于测试两个以上半导体元件，各该半导体元件分别包括输入端及输出端，该测试装置包括：压力源，用以输出流体；流体控制模组，连接于该压力源，包含：两个以上流量控制器，连接于该压力源，各该流量控制器分别具有输入埠；两个以上压力计；以及两个以上分流道，各该分流道的一端分别连接于一个该输入埠；测试座，包括下压组件、下压底座、针测座、测试基座及测试载盘，该下压组件连接该下压底座及该针测座并能相对该测试基座线性位移，其中：该测试基座，包括两个以上第一流道及两个以上第二流道，各该第一流道分别连接一个该流量控制器；以及该测试载盘，设置于该测试基座上，各该半导体元件的该输入端及该输出端贯穿该测试载盘并分别穿入该第一流道及该第二流道；以及开关阀组件，包含：第一开关阀，连接于该第二流道；第二开关阀，连接于该第一流道与该流量控制器之间，且该压力计连接于该第二开关阀与该测试基座之间；以及切换开关阀，连接于该第二开关阀、该流量控制器及该分流道的另一端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 京元电子股份有限公司 测试系统及其测试装置与测试方法

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