申请/专利权人：联策科技股份有限公司

申请日：2022-09-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747469A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种基板运载装置及其运载方法，该基板运载装置包括待置站、工作站、以及设于待置站与工作站之间的搬运单元；其中，待置站用以放置基板，工作站具有载台与位移台，位移台于至少两个空间位置之间作移动，而载台上则具有位于其中一个空间位置的工作部，工作部用以对基板执行工作目的，以供搬运单元提取基板并于待置站与工作站间作运载；其中，位移台移动至另一个空间位置时，载台以相对远离搬运单元作一次往复动作，使位移台能作回归。

主权项：1.一种基板运载装置，其特征在于，包括：待置站，用以放置所述基板；工作站，具有载台与位移台，该位移台于至少两个空间位置之间作移动，而该载台上则具有位于其中一个所述空间位置的工作部，该工作部用以对所述基板执行工作目的；以及搬运单元，设于该待置站与该工作站之间，并提取所述基板于该待置站与该工作站间作运载；其中，该位移台移动至另一个所述空间位置时，该载台以相对远离该搬运单元作一次往复动作，且该位移台于该载台进行所述往复动作的过程中回归至其中一个所述空间位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 联策科技股份有限公司 基板运载装置及其运载方法

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