申请/专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司

申请日：2023-11-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740143A

主分类号：G01J1/42

分类号：G01J1/42;G01J1/44;G01J1/04

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种激光能量测量装置和补偿激光能量的方法，所述激光能量测量装置，包括：探头结构，所述探头结构包括：激光衰减片，所述激光衰减片用于接收激光器发射的激光光束，并对所述激光光束的能量进行衰减以形成衰减光信号；光电转换器，所述光电转换器用于接收所述衰减光信号，并将所述衰减光信号转换为电信号；采样板卡，所述采样板卡与所述探头结构连接，所述采样板卡用于对所述电信号进行数据处理以获得所述激光光束的功率值。采用该装置可以扩大对激光光束的测量量程，且测量方式不受限制，应用性更加广泛。

主权项：1.一种激光能量测量装置，其特征在于，包括：探头结构，所述探头结构包括：激光衰减片，所述激光衰减片用于接收激光器发射的激光光束，并对所述激光光束的能量进行衰减以形成衰减光信号；光电转换器，所述光电转换器用于接收所述衰减光信号，并将所述衰减光信号转换为电信号；采样板卡，所述采样板卡与所述探头结构连接，所述采样板卡用于对所述电信号进行数据处理以获得所述激光光束的功率值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 激光能量测量装置和补偿激光能量的方法

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