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【发明公布】多温区高纯度碳化硅粉料生产装置_郑州鬃晶科技有限公司_202311836862.3 

申请/专利权人:郑州鬃晶科技有限公司

申请日:2023-12-28

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN117739665A

主分类号:F27B9/16

分类号:F27B9/16;F27B9/36;F27B9/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要:本发明涉及碳化硅粉料生产领域,具体涉及一种多温区高纯度碳化硅粉料生产装置。包括炉体、盖体、加热组件、保温层和旋转组件,通过对主石墨加热器和侧石墨加热器的配合设置尽量减少了加热腔内热量的外散从而利于对位于加热腔内的坩埚进行加热,同时通过气体的冲击带动转台上的坩埚进行转动使得坩埚内的物料受热均匀,这样也提高碳化硅原材料纯度;本发明提高了加热效率和碳化硅原材料纯度。

主权项:1.一种多温区高纯度碳化硅粉料生产装置,其特征在于,包括:炉体100;盖体200,位于炉体100上部;加热组件300,主体为矩形状,其位于炉体100内部;保温层400,位于炉体100内,且位于加热组件300外侧,保温层400填充于加热组件300与炉体100之间;旋转组件500,上部穿过炉体100且旋转组件500上端位于加热组件300内,加热组件300内放置坩埚,且坩埚置于旋转组件500上部,旋转组件500带动坩埚在炉体100内旋转。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 郑州鬃晶科技有限公司 多温区高纯度碳化硅粉料生产装置

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