申请/专利权人:天合光能股份有限公司;天合光能(青海)新能源有限公司
申请日:2023-12-22
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117737832A
主分类号:C30B15/20
分类号:C30B15/20;C30B29/06
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本申请提供一种水冷屏冷却液控制系统和单晶硅棒生长装置。控制系统包括:与进液管连接的第一温度传感器,第一温度传感器用于感测进液管中冷却液的温度;与出液管连接的第二温度传感器,第二温度传感器用于感测出液管中冷却液的温度;与进液管和或出液管连接的流量传感器,流量传感器用于感测冷却液的流量;流量控制器,根据进液管中冷却液的温度、出液管中冷却液的温度和冷却液的流量计算流经水冷屏的冷却液吸收的热量。控制系统能够根据进液管中冷却液的温度、出液管中冷却液的温度和冷却液的流量计算流经水冷屏的冷却液吸收的热量,根据冷却液吸收的热量与目标吸收热量之间的差值调整冷却液的流量,以使两者之间的差值小于预设差值。
主权项:1.一种水冷屏冷却液控制系统,所述水冷屏包括进液管和出液管,所述进液管用于向所述水冷屏提供冷却液,所述出液管用于排出所述水冷屏内的冷却液,其特征在于,包括:第一温度传感器,与所述进液管连接,所述第一温度传感器用于感测所述进液管中冷却液的温度;第二温度传感器,与所述出液管连接,所述第二温度传感器用于感测所述出液管中冷却液的温度;流量传感器,与所述进液管和或所述出液管连接,所述流量传感器用于感测所述冷却液的流量;以及流量控制器,根据所述进液管中冷却液的温度、所述出液管中冷却液的温度和所述冷却液的流量计算流经所述水冷屏的冷却液吸收的热量。
全文数据:
权利要求:
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