申请/专利权人:常州裕能石英科技有限公司
申请日:2023-12-25
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117735814A
主分类号:C03B20/00
分类号:C03B20/00;C30B15/10;C30B29/06
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.03.22#公开
摘要:本发明涉及石英坩埚技术领域,特别是一种耐温复合石英坩埚及其制备方法,原料石英砂包括天然石英砂、人工石英砂、半晶态石英、微晶态合成石英砂;掺杂元素包括高熔点金属化合物和非金属化合;取预定量的石英砂,石英砂与非金属化合球磨混合造粒,得附着石英砂粉体,将石英砂粉体置于含高熔点金属化合物水溶液中,水热反应得复合粉体;复合粉体升温煅烧处理,冷却得到煅烧粉体;煅烧粉体与剩余的石英砂混合,得掺杂处理的石英砂混料;以掺杂处理的石英砂混料为原料,采用旋转塑模法电弧熔制耐温石英坩埚。本发明具有良好的耐温性,在加热熔融坩埚内的复投硅原料时降低坩埚的变形量,利于延长石英坩埚的使用寿命,满足复投拉晶的生产要求。
主权项:1.一种耐温复合石英坩埚,其特征是:为掺杂处理的石英砂经旋转塑模法电弧熔融制得,掺杂处理的原料石英砂包括按质量份的原料:天然石英砂50-70份、人工石英砂30-40份、半晶态石英10-20份、微晶态合成石英砂10-20份;掺杂元素包括高熔点金属化合物和非金属化合;以掺杂处理后的石英砂总质量为100%计,高熔点金属的掺杂量为20~40ppm,非金属化合的掺杂量为8~24ppm。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 常州裕能石英科技有限公司 一种耐温复合石英坩埚及其制备方法
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