申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117736738A

主分类号：C09K13/08

分类号：C09K13/08;C30B33/10;C30B29/40

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及晶体制备领域，具体是一种锑化铟晶锭腐蚀液和锑化铟晶锭的腐蚀方法。本发明提供的锑化铟晶锭腐蚀液，其包括HF、HNO3和H2O；所述HF的质量浓度为45～50wt％；所述HNO3的质量浓度为65～75wt％；所述HF、HNO3和H2O的体积比为1：4～8：10～20。本发明以包括HF、HNO3和H2O三种组分的腐蚀液对喷砂处理后的锑化铟晶锭进行腐蚀，具有非常高的腐蚀速度，能够以秒级的速度快速且大量地腐蚀锑化铟晶锭，并大幅度减少锑化铟晶锭表面浮渣颗粒，从而大幅度降低孪晶出现的几率，提高高质量单晶的产出。

主权项：1.一种锑化铟晶锭腐蚀液，其特征在于，其包括HF、HNO3和H2O；所述HF的质量浓度为45～50wt％；所述HNO3的质量浓度为65～75wt％；所述HF、HNO3和H2O的体积比为1：4～8：10～20。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽光智科技有限公司 一种锑化铟晶锭腐蚀液和锑化铟晶锭的腐蚀方法

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