申请/专利权人：国家电投集团科学技术研究院有限公司

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737685A

主分类号：C23C14/58

分类号：C23C14/58;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种透明电极退火装置及方法，所述透明电极退火装置包括壳体、样品台、靶材、挡板和脉冲组件，壳体具有密封腔，样品台连接于壳体并位于密封腔内，样品台用于固定样品，靶材连接于壳体并位于密封腔内，靶材用于向样品溅射靶原子，挡板活动连接于壳体并位于密封腔内，挡板在遮挡位置和暴露位置之间可转换，在遮挡位置，挡板位于靶材与样品之间，在暴露位置，挡板移出靶材和样品之间，脉冲组件安装在挡板并位于挡板与样品之间，脉冲组件用于对样品进行加热。本发明通过脉冲组件对样品特定层进行快速加热，完成特定层退火的同时避免了其它部分温度过高而变质或损毁，提高了样品的品质。

主权项：1.一种透明电极退火装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有密封腔；样品台，所述样品台连接于所述壳体并位于所述密封腔内，所述样品台用于固定样品；靶材，所述靶材连接于所述壳体并位于所述密封腔内，所述靶材用于向样品溅射靶原子；挡板，所述挡板活动连接于所述壳体并位于所述密封腔内，所述挡板在遮挡位置和暴露位置之间可转换，在所述遮挡位置，所述挡板位于所述靶材与所述样品之间，在所述暴露位置，所述挡板移出所述靶材和所述样品之间；脉冲组件，所述脉冲组件安装在所述挡板并位于所述挡板与所述样品之间，所述脉冲组件用于对所述样品进行加热。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国家电投集团科学技术研究院有限公司 透明电极退火装置及方法

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