申请/专利权人：珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747459A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆盒状态检测装置、天车系统及天车运输方法，晶圆盒包括可拆卸连接的外壳和底座，以底座与外壳互锁后底座的底面为基准面，装置包括安装在天车上的第一检测组件和第二检测组件；天车具有容纳晶圆盒的容纳腔，天车包括控制器，第一检测组件和第二检测组件均与控制器通信连接；第一检测组件包括安装在容纳腔内的第一光信号发射器和第一光信号接收器，第一检测组件用于检测基准面是否倾斜；第二检测组件包括安装在容纳腔内的第二光信号发射器和第二光信号接收器，所述第二检测组件用于检测外壳底部是否有底座，本装置利用底开式晶圆盒的底座不透光、外壳透光的特性，检测底开式晶圆盒的底座是否安装到位。

主权项：1.一种晶圆盒状态检测装置，晶圆盒包括可拆卸连接的外壳和底座，以底座与外壳互锁后底座的底面为基准面，其特征在于：包括安装在天车上的第一检测组件和第二检测组件；所述天车具有容纳晶圆盒的容纳腔；所述第一检测组件包括安装在容纳腔内的第一光信号发射器和第一光信号接收器，所述第一检测组件用于检测基准面是否倾斜；所述第二检测组件包括安装在容纳腔内的第二光信号发射器和第二光信号接收器，所述第二检测组件用于检测外壳底部是否有底座。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司 晶圆盒状态检测装置、天车系统及天车运输方法

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