申请/专利权人：北方夜视技术股份有限公司

申请日：2023-12-08

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117739833A

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;G06F17/10;G06F17/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法及存储介质，该方法利用算法和软件实现，通过人工交互的形式，自适应计算模型中多参数，并根据模型参数和通过高清摄像头所采集到的图像对多碱光电阴极薄膜厚度进行计算。包括：1设置光反射颜色模型计算的矩形区域；2输入产品线作为样本；3输入膜厚度经验值和误差范围；4判断样本点数是否达到要求，若未达到则返回2；5计算得到光阴极薄膜厚度。本发明能够保证样本点的工作环境与测试产品的工作环境一致，大大增强了在实际生产过程中的鲁棒性和普适性。

主权项：1.一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法，其特征在于，包括以下步骤：1采用高清彩色摄像头采集光反射颜色图像，图像的颜色通道数为3，所采集彩色图像以C表示，每一个通道对应的矩阵元素Ck为： 其中：H表示所选择矩形区域高度方向像素点数，W表示所选择矩形区域宽度方向像素点数，所选择区域的像素点区域维数为H×W，其对应的维数为H×W×3；k表示各通道标号，即红、绿和蓝基色通道，k＝0,1,2；每个通道元素数量为H×W，表示每个通道上的基色参数；2在生产线上技术人员通过经验并以人工方式输入对应的经验颜色和经验光阴极薄膜厚度数值，并假设第n次输出的经验颜色数值为rn，经验厚度为dn，设计对应的多参数模型A，其维数与所采集的光反射图像的维数相同，每个通道对应的参数Ak为： 其中：H表示所选择矩形区域高度方向像素点数，W表示所选择矩形区域宽度方向像素点数，所选择区域的像素点区域维数为H×W，其对应的维数为H×W×3；k表示各通道标号，即红、绿和蓝基色通道，k＝0,1,2；每个通道元素数量为H×W；表示模型A的多参数，h＝0～H-1,w＝0～W-1；3根据输入的经验颜色数值为rn,计算通道颜色映射多参数通过公式 使所得到的颜色与实际经验颜色误差最小，通过此方法，可以得到模型中颜色映射的多参数，其中：m＝0,1,…,M-1，N代表输入样本点的个数；4根据输入的经验厚度数值dn,计算光阴极薄膜厚度映射多参数bm，通过公式 使所得到的厚度与经验输入厚度误差最小，通过此方法，可以得到模型中的光阴极薄膜厚度映射中的多参数，其中：n＝0,1,...,N-1，M代表满足与经验输入经验厚度误差参数的个数；5所述颜色映射参数和厚度映射参数bm通过步骤3和步骤4计算得到，通过采集到的光反射图像Ck,计算得到光阴极薄膜厚度 6若通过步骤5中的计算得到的薄膜厚度与人工检测得到的厚度相差较大时，重新采集新的光反射图像，重复步骤2-5,直到计算所得到的膜厚度在可接受范围内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北方夜视技术股份有限公司 一种自动测量多碱光电阴极膜厚的方法及存储介质

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