申请/专利权人：苏州大学

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740208A

主分类号：G01L1/18

分类号：G01L1/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：发明涉及一种微悬臂梁触觉传感器及其制备方法，包括：基座，基座的上表面向上凸起形成皱缩结构，皱缩结构的横截面沿皱缩结构的轴线方向自上至下先减小再增大；基座绕皱缩结构沿其周向设有多个沟槽，沟槽包括沟槽本体以及自沟槽本体延伸至皱缩结构顶端的沟槽连接部；感应元件，填充在多个沟槽中；触杆，同轴连接在皱缩结构的顶端，触杆的弹性模量大于基座的弹性模量。本发明能够本申请在检测的过程中发生偏转而非弯曲，将应力信号高效的转化为电信号，可以为外电路提供一个更加明显的电信号，具有检测阈值低，精度高、响应速度高的特点，成本低，且能够实现小型化。

主权项：1.一种微悬臂梁触觉传感器，其特征在于：包括：基座，所述基座的上表面向上凸起形成皱缩结构，所述皱缩结构的横截面沿所述皱缩结构的轴线方向自上至下先减小再增大；所述基座绕所述皱缩结构沿其周向设有多个沟槽，所述沟槽包括沟槽本体以及自所述沟槽本体延伸至所述皱缩结构顶端的沟槽连接部；感应元件，填充在所述多个沟槽中；触杆，同轴连接在所述皱缩结构的顶端，所述触杆的弹性模量大于所述基座的弹性模量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州大学 一种微悬臂梁触觉传感器及其制备方法

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