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【发明公布】一种柔性触觉传感器及其制备方法_西安交通大学_202410061964.0 

申请/专利权人:西安交通大学

申请日:2024-01-16

公开(公告)日:2024-04-16

公开(公告)号:CN117889912A

主分类号:G01D21/02

分类号:G01D21/02;G01L1/14;G01K7/16

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要:本发明公开了一种柔性触觉传感器及其制备方法,属于健康检测传感器技术领域,所述的柔性触觉传感器包括自上而下依次设置的上电极层,中间介电层以及下电极层。所述上电极层包括基底与上电极;所述下电极层包括基底和下电极。所述下电极构成热阻式温度传感器,对温度敏感。所述上电极,介电层和下电极构成电容式压力传感器,对压力敏感。传感器可同时测量压力和温度,且不产生信号耦合。

主权项:1.一种柔性触觉传感器,其特征在于,包括依次设置的上电极基底1、上电极2、介电层3、下电极4和下电极基底5;所述下电极4为热阻式温度传感器,对温度敏感;所述上电极2、介电层3和下电极4构成电容式压力传感器,所述电容式压力传感器对压力敏感;所述介电层3包括介电层基底31,所述介电层基底31中分布有微孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西安交通大学 一种柔性触觉传感器及其制备方法

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