申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司
申请日:2022-09-21
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117737846A
主分类号:C30B27/02
分类号:C30B27/02;C30B29/06
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.03.22#公开
摘要:本发明实施例提供了一种单晶炉的异常处理方法及装置、单晶炉,该方法包括:监测预设参数项对应的运行参数,所述预设参数项为预先针对单晶炉的至少一个异常现象设置的参数项,所述至少一个异常现象包括:冷却水异常、压缩空气异常和惰性气体异常中的至少一个;获取每一所述异常现象对应的触发条件;在所述运行参数符合目标异常现象对应的所述触发条件的情况下,按照目标策略对所述单晶炉进行操作;所述目标策略为预先针对所述目标异常现象设置的应对策略。本发明实施例可以在单晶炉工作过程中,自动监测异常现象,并在发生异常现象后,采用预先设置的应对策略进行处理,实现了异常现象的及时发现和处理,减少设备受损的情况发生。
主权项:1.一种单晶炉的异常处理方法,其特征在于,所述方法包括:监测预设参数项对应的运行参数,其中,所述预设参数项为预先针对单晶炉的至少一个异常现象设置的参数项,所述至少一个异常现象包括:冷却水异常、压缩空气异常和惰性气体异常中的至少一个;获取每一所述异常现象对应的触发条件;在所述运行参数符合目标异常现象对应的所述触发条件的情况下,按照目标策略对所述单晶炉进行操作;其中,所述目标异常现象为所述冷却水异常、所述压缩空气异常或者所述惰性气体异常,所述目标策略为预先针对所述目标异常现象设置的应对策略。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 隆基绿能科技股份有限公司 单晶炉的异常处理方法及装置、单晶炉
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