申请/专利权人：安徽光智科技有限公司

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117735856A

主分类号：C03C17/34

分类号：C03C17/34;C30B13/14;C22B41/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种用于高纯锗区熔的石英舟镀膜方法包括步骤：S1，石英舟的内壁涂覆硅溶胶；S2，将内壁涂覆硅溶胶的石英舟放在750‑850℃烤炉中烘烤5‑10h；S3，烘烤后，在1‑4％HF中浸泡10‑24h；S4，浸泡完成后，用纯水冲洗干净；S5，在石英舟的表面镀0.1‑1μm的碳膜。通过本公开的用于高纯锗区熔的石英舟镀膜方法，能够在石英舟的内壁的表面形成氧化硅‑碳复合薄膜，起到隔绝锗熔体、提高石英舟寿命的作用。

主权项：1.一种用于高纯锗区熔的石英舟镀膜方法，其特征在于，包括步骤：S1，石英舟的内壁涂覆硅溶胶，S2，将内壁涂覆硅溶胶的石英舟放在750-850℃烤炉中烘烤5-10h；S3，烘烤后，在1-4％HF中浸泡10-24h；S4，浸泡完成后，用纯水冲洗干净；S5，在石英舟的表面镀0.1-1μm的碳膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽光智科技有限公司 用于高纯锗区熔的石英舟镀膜方法

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