申请/专利权人：原子能和替代能源委员会

申请日：2023-10-16

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117894807A

主分类号：H01L27/144

分类号：H01L27/144

优先权：["20221014 FR FR2210639"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：本发明涉及一种平面光电二极管1，包括由锗基材料M0制成的检测部分10和外围侧面部分3，外围侧面部分3包括彼此堆叠的几种材料，该几种材料包括热膨胀系数低于材料M0的热膨胀系数的材料M1和热膨胀系数高于或等于材料M0的热膨胀系数的材料M2。中间区域13包括被材料M1包围并具有拉伸应力的部分P1。中间区域13还包括被材料M2包围并具有压缩应力的部分P2。部分P2包围n掺杂的BOX12。

主权项：1.一种平面光电二极管1，包括：主半导体层2的检测部分10，所述检测部分10由至少一种锗基晶体半导体材料M0制成，具有平行于主平面的第一面F1和第二面F2，并且包括：p型掺杂的第一区域11，与所述第一面F1齐平；n型掺杂的第二区域12，与所述第二面F2齐平；和中间区域13，在所述第一掺杂区域11和第二掺杂区域12之间延伸，并且在所述主平面中包围所述第二掺杂区域12，同时与所述第二面F2齐平；和外围侧面部分3，所述外围侧面部分3用于电极化，由至少一种第一导电材料M1制成，沿垂直于所述主平面的垂直轴延伸，直到与所述第一掺杂区域11接触，并且延伸与所述检测部分10接触，同时包围所述主平面中的所述中间区域13；第一材料M1具有比所述材料M0的热膨胀系数低的热膨胀系数CTE1，从所述第一面F1延伸；中间区域13包括第一部分P1，在所述主平面中被所述第一材料M1包围，具有机械拉伸应力；其特征在于，所述外围侧面部分3包括几种不同的导电材料，所述几种导电材料沿所述垂直轴彼此堆叠，所述几种导电材料包括：至少一种第二材料M2，所述至少一种第二材料M2在所述第一材料M1和所述第二面F2之间延伸，具有高于或等于所述材料M0的热膨胀系数的热膨胀系数CTE2，所述中间区域13包括与所述第二面F2齐平的第二部分P2，所述第二部分P2在所述主平面中被所述第二材料M2包围，由具有机械压缩应力的外围侧面区Z2p形成，所述外围侧面区Z2p在所述主平面中包围具有机械拉伸应力的中心区Z2c，并且所述第二掺杂区域12位于所述中心区Z2c中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 原子能和替代能源委员会 具有压缩的外围侧面区的锗基平面光电二极管

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