申请/专利权人：厦门大学

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737839A

主分类号：C30B25/02

分类号：C30B25/02;C30B29/40

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种通过三甲基铟预流以平滑铝铟氮外延薄膜的方法。所述方法包括：将反应衬底放置于反应室内，当反应室温度升至生长温度时，往反应室内通入含有含铟前驱物的预流气体；通入时间达到预定时间后停止，开始进行铝铟氮外延薄膜的生长。本发明通过在铝铟氮外延薄膜生长前，将含有含铟前驱物的气流提前通入至反应室中，当中的铟能够作为表面活化剂，与生长衬底中的氮悬挂键相结合，从而减少了后续铝铟氮外延薄膜生长过程当中，Al原子与氮悬挂键相结合而被束缚的几率，从而能够增加表面吸附Al原子的扩散距离，进而并入到合适的晶格位点当中，最终形成平滑的铝铟氮外延薄膜生长表面。

主权项：1.一种通过三甲基铟预流以平滑铝铟氮外延薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括：将反应衬底放置于反应室内，当反应室温度升至生长温度时，往反应室内通入含有含铟前驱物的预流气体；通入时间达到预定时间后停止，开始进行铝铟氮外延薄膜的生长。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门大学 一种通过三甲基铟预流以平滑铝铟氮外延薄膜的方法

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