申请/专利权人：西安电子科技大学芜湖研究院;西安电子科技大学

申请日：2021-05-21

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113447531B

主分类号：G01N27/12

分类号：G01N27/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.10.22#实质审查的生效;2021.09.28#公开

摘要：本发明属于半导体氧化物气体传感器技术领域，公开了一种氧化铟基气体传感器制备方法、检测甲醇的方法，所述氧化铟基气体传感器检测甲醇的方法，包括：当传感器暴露于空气中，空气中的氧气将吸附在材料表面上，氧分子将会捕获电子，从而传感器在空气中呈现出高阻态；当传感器放置于甲醇气体中时，甲醇分子将与吸附氧发生反应并释放电子，从而传感器呈现出电阻降低的趋势。本发明使用NaF作为合成模板，进行喷雾热解反应。该反应过程绿色无污染，合成过程简单，为使用喷雾热解法合成金属半导体氧化物提供了一个新的思路。本发明对于不同浓度的甲醇气体，传感器仍然保持极短的响应恢复时间，在实际应用中是非常重要的。

主权项：1.一种氧化铟基气体传感器检测甲醇的方法的氧化铟基气体传感器制作方法，其特征在于，所述氧化铟基气体传感器检测甲醇的方法，包括：当传感器暴露于空气中，空气中的氧气将吸附在材料表面上，氧分子将会捕获电子，从而传感器在空气中呈现出高阻态；当传感器放置于甲醇气体中时，甲醇分子将与吸附氧发生反应并释放电子，从而传感器呈现出电阻降低的趋势；所述吸附在材料表面中，材料为多孔材料，多孔材料的内表面和外表面都参与气体传感反应，促进材料的气体感测特性；所述多孔材料的多孔结构，多孔结构产生大的比表面积，提供活性位点，实现气体转移；所述氧化铟基气体传感器制作方法，包括：步骤一，称取一定质量的氯化铟，并分散于一定体积的去离子水中；在室温下持续搅拌至溶液呈透明状；向呈透明状的溶液中加入一定量的氟化钠，拌一段时间后溶液变成白色，然后持续搅拌，所获得的溶液进行下一步喷雾热解实验；步骤二，将制备好的溶液抽取一定量加入喷雾热解中的雾化装置中，设置喷雾的温度，并将N2设置为载气；步骤三，待溶液全部反应完后收集末端反应产物，使用去离子水清洗超声两次，乙醇清洗一次，并在真空干燥箱中设置相应的温度下干燥；步骤四，干燥产物放于马弗炉中，进行处理；所制备的敏感材料超声分散于去离子水中，使用刷子涂敷在传感器的陶瓷管上，然后对敏感电极进行处理；将敏感电极和加热丝焊接在六角基座上，老化三天，待器件电阻平稳后开始测试。

全文数据：

权利要求：

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