申请/专利权人：BNS株式会社;HNS株式会社

申请日：2020-02-10

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112309931B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：["20190729 KR 10-2019-0091672"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.02.23#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本发明涉及具备行驶及引导功能的行驶轨道，用于工序间基板移送的具备行驶及引导功能的行驶轨道，在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成有多个，所述具备行驶及引导功能的行驶轨道包括：作为上部端面的平坦的轨道垫、向所述轨道垫的左右侧下方倾斜的轨道倾斜部、从所述轨道倾斜部延长而由槽部构成的异物承接部。因此，本发明的具备行驶及引导功能的行驶轨道由此同时具备行驶与引导功能的结构，滚轮单元沿着轨道倾斜部稳定地行驶，从而具有可以防止滚轮单元从行驶轨道脱离的效果。

主权项：1.一种具备行驶及引导功能的行驶轨道，在用于移送基板的托盘移送系统中交叉地形成有多个，其特征在于，包括：作为上部端面的平坦的轨道垫，轨道倾斜部，其向所述轨道垫的左右侧下方倾斜，异物承接部，其从所述轨道倾斜部延长而以槽部构成，轨道连结部，其为了固定所述行驶轨道而在下端部形成有多个开口，能够利用连结构件连结在轨道转向模块配备的框架部的四边板的各边以多个槽部形成的框架连结部；所述轨道垫以摩擦小的光滑材料形成；滚轮单元安放于倾斜的所述轨道倾斜部上部行驶；所述滚轮单元，连结于用于移送基板的托盘，包括：旋转单元，其能够旋转地安装于所述托盘，脚轮块，其借助连结构件而连结于所述旋转单元，具有向左右侧下方倾斜的端面部，引导滚轮，其在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部结合有多个；所述旋转单元包括：底座固定部，其固定部连结于所述托盘，旋转外壳，其在所述底座固定部的下部插入有用于使所述脚轮块旋转的轴承；所述脚轮块包括：脚轮外壳，其为所述脚轮块的主体部，脚轮倾斜部，其以向左右侧下方具有倾斜角的端面部形成，脚轮垫，其以作为所述脚轮块的下部面的平坦的端面部形成，及脚轮轴，其结合于插入有所述轴承的旋转外壳，用于旋转所述脚轮块；所述引导滚轮包括：行驶滚轮，其形成为圆筒形，涂覆有与行驶轨道及连接轨道部接触的聚氨酯材料的胶轮，及滚轮轴，其作为与所述脚轮块的脚轮倾斜部连接的旋转用介质构件，在所述行驶滚轮内部具备轴承，与所述轴承贴紧，以所述脚轮块为介质进行旋转；所述滚轮单元的引导滚轮在所述脚轮块的左右侧倾斜端面部，左右侧彼此交错地结合有多个。

全文数据：

权利要求：

百度查询： BNS株式会社;HNS株式会社 具备行驶及引导功能的行驶轨道及利用其的托盘移送系统

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