申请/专利权人：东京毅力科创株式会社

申请日：2020-05-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112018023B

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/68;H01L21/683

优先权：["20190531 JP 2019-103182"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.12.18#实质审查的生效;2020.12.01#公开

摘要：本发明提供定位装置和定位方法。本发明的一个方式的定位装置包括：载置基片的载置台；从下方保持上述载置台的保持部；使上述载置台相对于上述保持部升降的升降销；和对准器，其从下方支承上述保持部，使上述保持部相对于上述升降销的相对位置变化，在上述保持部和上述对准器中形成有上述升降销能够贯通的贯通孔。本发明能够将作为检查对象的基片定位。

主权项：1.一种定位方法，其将载置有基片的载置台相对于保持部进行定位，所述定位方法的特征在于，包括：将载置有所述基片的所述载置台载置到所述保持部上的步骤；用对准器从下方支承载置于所述保持部上的所述载置台的步骤；使所述载置台从所述保持部向上方离开的步骤；和在使所述载置台从所述保持部向上方离开了的状态下，使所述对准器在水平方向上移动来使所述载置台相对于所述保持部的相对位置变化的步骤。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创株式会社 定位装置和定位方法

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