申请/专利权人：深圳职业技术学院

申请日：2022-06-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114920934B

主分类号：C08G73/10

分类号：C08G73/10;G03F7/004;H01L23/29

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.09.06#实质审查的生效;2022.08.19#公开

摘要：本发明提供了一种感光聚酰亚胺树脂的制备方法和应用，包括以下步骤：S1首先制备前驱体聚异酰亚胺；所述聚异酰亚胺的结构中含有可碱水溶液显影的羟基基团；S2通过叔丁氧羰基t‑Boc保护所述羟基基团，得到所述聚酰亚胺树脂。本发明通过聚异酰亚胺前驱体设计制备了一种含羟基的聚异酰亚胺树脂，由于含有可碱溶液显影的羟基基团，致使其曝光部分在碱性水溶液中溶解速度较快，可以和未曝光部分形成很好的溶出对比度，同时在采用聚异酰亚胺为聚酰亚胺的前驱体可以很好地在250℃左右进行低温固化。

主权项：1.一种正性低温固化的光敏聚酰亚胺的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1首先制备前驱体聚异酰亚胺PII；所述聚异酰亚胺的结构中含有可碱水溶液显影的羟基基团；S2通过叔丁氧羰基t-Boc保护所述羟基基团，得到所述聚酰亚胺PI树脂；所述步骤S1制备所述聚异酰亚胺的步骤包括：在惰性气体气氛中，将含Ar1结构的二胺单体与Ar2结构的二酸酐单体在有机溶剂中搅拌反应后，再加入脱水剂，搅拌反应后，制备得到所述聚异酰亚胺；所述含Ar1结构的二胺单体包括2,2-双3-氨基-4-羟基苯基六氟丙烷、33'-二羟基联苯胺、2,2′-磺酰二[5-氨基苯酚]、4,4′-亚甲基双[2-氨基苯酚]、4,4′-氧双[2-氨基苯酚]、4,4′-二氨基[1,1′-联苯]-3,3′，5,5′-四醇；所述含Ar2结构的二酸酐单体包括环丁烷四甲酸二酐、联苯四甲酸二酐、六氟二酐、1,2,3,4-环戊烷四甲酸二酐、均苯四甲酸二酐、氢化均苯四甲酸二酐、3,3'4,4'-二苯甲酮四羧酸二酐、双环己基-3,4,3',4'-四酸二酐、四氢呋喃-2,3,4,5-四羧酸二酐、4,4'-4,4'-异丙基二苯氧基二酞酸酐、双环[2.2.2]辛烷-2,3,5,6-四甲酸2,3:5,6-二酐、2,3,6,7-萘四甲酸二酐；所述二酸酐单体和所述二胺单体在所述有机溶剂中的溶度为10-40％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳职业技术学院 一种感光聚酰亚胺树脂的制备方法和应用

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