申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-02-05

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN111886543B

主分类号：G03F1/76

分类号：G03F1/76;G03F7/20;H01L21/027

优先权：["20180322 US 15/933,147"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.11.20#实质审查的生效;2020.11.03#公开

摘要：本公开内容的实施方式一般涉及一种图像投影系统。该图像投影系统包括有源矩阵固态发射器SSE装置。该有源矩阵固态发射器包括基板、硅层和发射器基板。该硅层经沉积在具有多个晶体管形成于其中的该基板之上。该发射器基板经定位在该硅层与该基板之间。该发射器基板包含多个发射器阵列。每个发射器阵列限定像素，其中一个像素包含来自该多个晶体管的一个或多个晶体管。每个晶体管经配置以接收可变量的电流。

主权项：1.一种用于在基板上产生图像的方法，包含：传送指令至包含多个发射器阵列的图像投影系统，其中所述指令包含针对所述多个发射器阵列中每个发射器的状态信息；在开启状态中脉冲激发所述发射器达一持续时间，所述持续时间在1纳秒到50微秒之间，以曝光所述基板的第一部分；在扫描模式下工作时将所述基板平移5mm的一步长并在所述开启状态中脉冲激发所述发射器以曝光所述基板的第二部分；和在所述开启状态中重复脉冲激发所述发射器以曝光所述基板的接续部分，直到所述基板被处理为止。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 具有可变强度二极管的空间光调制器

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