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【发明授权】光测距装置以及加工装置_三菱电机株式会社_201880094330.8 

申请/专利权人:三菱电机株式会社

申请日:2018-06-12

公开(公告)日:2024-03-22

公开(公告)号:CN112236688B

主分类号:G01S17/34

分类号:G01S17/34;G01S7/4913

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.22#授权;2021.02.02#实质审查的生效;2021.01.15#公开

摘要:将光测距装置3构成为如下:设置光干涉部21和偏振波旋转部25,光干涉部将反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光,从第一偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第一及第二分量,从第二偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第三及第四分量,偏振波旋转部通过使具有第一及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有第三及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转,取得偏振波的水平分量及垂直分量中的一个以上的分量,距离计算部27根据由偏振波旋转部25取得的分量计算反射光的频率与参考光的频率的差分,根据差分计算直至测定对象物1为止的距离。

主权项:1.一种光测距装置,具备:光输出部,将频率伴随时间的经过而变化的频率扫描光作为参考光来输出,并且对所述频率扫描光的偏振波进行复用,输出相互正交的第一以及第二偏振波的频率扫描光;光收发部,向测定对象物照射所述第一以及第二偏振波的频率扫描光,将被所述测定对象物反射的频率扫描光作为反射光来接收;光干涉部,将所述反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光,从所述第一偏振波的反射光与所述参考光的干涉光抽取相互正交的第一以及第二分量,从所述第二偏振波的反射光与所述参考光的干涉光抽取相互正交的第三以及第四分量;光电变换部,将所述第一分量、所述第二分量、所述第三分量以及所述第四分量分别变换为电信号;模拟数字变换部,将变换为电信号的所述第一分量、所述第二分量、所述第三分量以及所述第四分量分别从模拟信号变换为数字信号;偏振波旋转部,通过使具有变换为数字信号的所述第一以及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有变换为数字信号的所述第三以及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转,取得偏振波的水平分量以及垂直分量之中的一个以上的分量;以及距离计算部,根据由所述偏振波旋转部取得的分量,计算所述反射光的频率与所述参考光的频率的差分,并根据所述差分计算直至所述测定对象物为止的距离。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三菱电机株式会社 光测距装置以及加工装置

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