申请/专利权人：株式会社大真空

申请日：2019-12-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113228256B

主分类号：H01L23/04

分类号：H01L23/04;H03B5/32;H03H9/02;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18

优先权：["20181227 JP 2018-244559"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.08.24#实质审查的生效;2021.08.06#公开

摘要：本发明的压电振动器件中，第一密封构件20与晶体振动片10接合、第二密封构件30与晶体振动片10接合，从而形成将包括第一激励电极111和第二激励电极112的晶体振动片10的振动部11气密密封的内部空间，第二密封构件30上形成有贯穿孔33，贯穿孔33的内壁面上形成有将第一主面301上形成的电极34与第二主面302上形成的外部电极端子32导通的贯穿电极331，贯穿电极331上设置有针对焊料120的耐侵蚀结构，贯穿电极331通过金以外的导电性金属使第一主面301的电极34与第二主面302的外部电极端子32导通。

主权项：1.一种压电振动器件，设置有在基板的一个主面上形成有第一激励电极、且在所述基板的另一个主面上形成有与所述第一激励电极成对的第二激励电极的压电振动板；将所述压电振动板的所述第一激励电极覆盖的第一密封构件；及将所述压电振动板的所述第二激励电极覆盖的第二密封构件，所述第一密封构件与所述压电振动板相接合、且所述第二密封构件与所述压电振动板相接合，从而形成将包括所述第一激励电极和所述第二激励电极的所述压电振动板的振动部气密密封的内部空间，其特征在于：在所述第二密封构件的另一个主面上，形成有通过焊料与外部电路基板电连接的外部电极端子，在所述第二密封构件上形成有贯穿孔，在该贯穿孔的内壁面上形成有用于将形成在所述第二密封构件的一个主面上的电极与形成在所述第二密封构件的另一个主面上的所述外部电极端子导通的贯穿电极，该贯穿电极上设有针对所述焊料的耐侵蚀结构，所述贯穿电极被构成为，利用金以外的导电性金属使所述第二密封构件的所述一个主面的所述电极与所述第二密封构件的所述另一个主面的所述外部电极端子相导通，所述贯穿孔为深度方向的中间部分变窄的截面形状，该贯穿孔的内壁面为朝着所述中间部分倾斜的倾斜面，在所述贯穿孔中，在深度方向的中间部分设有贯穿部分。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社大真空 压电振动器件

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