申请/专利权人：弥费科技(上海)股份有限公司

申请日：2023-07-07

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220641426U

主分类号：B65G35/00

分类号：B65G35/00;B65G47/90;B65G43/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本说明书实施例提供一种晶圆盒夹爪装置及空中运输车，包括基板和两组夹爪机构，两组夹爪机构可相对于基板移动，基板上安装有驱动组件，驱动组件带动两组夹爪机构相互靠近或远离，以使得两组夹爪机构之间的距离增大或减小，基板顶部沿着远离基板方向依次设置有第一传感器和第二传感器，基板底部连接有弹性件，弹性件远离基板的一端连接有安装板，安装板底部安装有定位块，安装板顶部设置有检测杆。通过设置第一传感器和第二传感器，当夹爪机构正常夹持晶圆盒时，检测杆触发第一传感器，第一传感器由on状态转变为off状态，当夹爪机构异常夹持晶圆盒时，检测杆触发第二传感器，提醒工作人员夹持异常。

主权项：1.一种晶圆盒夹爪装置，其特征在于，包括基板和两组夹爪机构，两组所述夹爪机构可相对于所述基板移动，所述基板上安装有驱动组件，所述驱动组件带动两组所述夹爪机构相互靠近或者远离，所述基板顶部沿着远离所述基板的方向设置有第一传感器和第二传感器，所述基板下方设有安装板，所述安装板与所述基板之间通过一个或者多个活动联接组件联接，所述基板与所述安装板之间设置有弹性件，所述安装板底部安装有定位块，所述安装板顶部设置有检测杆，所述检测杆穿过所述基板；其中：所述第一传感器与所述基板之间的距离小于所述第二传感器与所述基板之间的距离；当所述夹爪装置对所述晶圆盒进行夹持时，所述基板向靠近所述晶圆盒的方向移动，所述定位块与晶圆盒顶部相接触后向靠近所述基板的方向运动，所述定位块通过安装板带动所述检测杆向靠近第一传感器和第二传感器的方向运动，使得所述检测杆触发第一传感器和或第二传感器；所述第一传感器被触发时产生指示晶圆盒被正常夹持的信号；所述第二传感器被触发时，或者，所述第一传感器和所述第二传感器同时被触发时，产生指示晶圆盒未被正常夹持的信号。

全文数据：

权利要求：

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