申请/专利权人：合生涂层科技(苏州)有限公司

申请日：2023-07-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643253U

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及真空镀膜加工领域，涉及一种真空镀膜抽气系统。本实用新型的抽气组件通过所述抽风管路对真空腔体预抽气后再通过抽气管路对真空腔体进行抽气处理，避免抽气口出现加气或抽气不均匀导致真空腔体内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题，通过第二阀门控制抽风管路和、第一阀门控制抽气管路，完成对管路和真空腔体的两段抽真空，使镀膜产品生产过程中镀膜效果达到最好，可以确保真空室内的气压值均匀，有效的提高了镀件的镀膜质量。

主权项：1.一种真空镀膜抽气系统，其特征在于，包括：真空镀膜机，其上设置有用于真空镀膜处理的真空腔体，所述真空腔体上设置有抽气口；分子泵，其上设置有高真空阀，所述高真空阀设置于所述抽气口上，所述高真空阀用于对所述抽气口进行启闭操作；抽气组件，与所述分子泵相对设置，且所述抽气组件与所述分子泵之间通过抽气管路连接，所述抽气管路上设置有第一阀门；抽风管路，设置于所述抽气管路与所述高真空阀之间，所述抽风管路上设置有第二阀门，所述抽气组件通过所述抽风管路对真空腔体预抽气后再通过抽气管路对真空腔体进行抽气处理。

全文数据：

权利要求：

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