申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117867471A

主分类号：C23C16/44

分类号：C23C16/44;C23C16/50;C23C4/12;C23C4/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请涉及一种处理方法、抽气环和镀膜设备，用于处理镀膜设备的抽气环，抽气环为陶瓷件，并安装于支撑件上，处理方法包括以下步骤：S1：对抽气环进行金属喷涂，以在抽气环表面形成金属覆盖层，金属覆盖层从抽气空腔的内表面延伸至安装表面；S2：将位于安装表面上的金属覆盖层浸润或涂覆填充剂。S3：取出抽气环并对安装表面上的金属覆盖层进行抛光。一种抽气环，经过如上项的处理方法处理。一种镀膜设备，包括支撑件和如上的抽气环，抽气环安装于所述支撑件上，抽气环经过上述的处理方法之后形成金属覆盖层，金属覆盖层与支撑件之间不会存在电势差，进而使得抽气空腔不会存在电势差，也就不会产生寄生等离子，保证了镀膜的效果。

主权项：1.一种处理方法，用于处理镀膜设备的抽气环，所述抽气环（10）为陶瓷件，并安装于支撑件（20）上，所述抽气环（10）上形成有抽气空腔（12），以及形成用于与所述支撑件抵接的安装表面（13），其特征在于，所述处理方法包括以下步骤：S1：对所述抽气环（10）进行金属喷涂，以在所述抽气环（10）表面形成金属覆盖层（11），所述金属覆盖层（11）从所述抽气空腔（12）的内表面延伸至所述安装表面（13）；S2：将位于所述安装表面（13）上的所述金属覆盖层（11）浸润或涂覆填充剂；S3：取出抽气环（10）并对所述安装表面（13）上的所述金属覆盖层（11）进行抛光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 处理方法、抽气环和镀膜设备

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