申请/专利权人：宁波启朴芯微系统技术有限公司;西北工业大学宁波研究院

申请日：2023-07-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651059U

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供了一种用于接近式光刻机找工艺剂量的分区挡板，包括分区板和限位板。使用时，所述限位板与掩模版的卡具卡合，分区板与限位板卡合。所述限位板顶面上沿所述第一圆孔部的外沿设有角度标尺，在实际操作过程中，操作者可以根据实际需求更换对应角度的分区板，实现选择以不同角度的透光区域进行分区调试；还可以对照角度标尺旋转分区板实现精准分区，从而达到仅曝光一片晶圆找到多个工艺剂量的效果，无需再每次测试工艺剂量时都一次性曝光整片晶圆，有效节省了时间，提升了寻找工艺剂量的效率，减少了晶圆的浪费，降低了调试工艺剂量的成本。

主权项：1.一种用于接近式光刻机找工艺剂量的分区挡板，其特征在于，包括限位板2和分区板1，所述限位板2上设有透光孔，所述透光孔包括同轴的第一圆孔部21和第二圆孔部22，所述第一圆孔部21的直径大于所述第二圆孔部22，所述第一圆孔部21和所述第二圆孔部22交界部位形成台阶面，所述分区板1为扇形，所述分区板1转动设置在所述第一圆孔部21内，所述分区板1与所述台阶面相抵，所述分区板1的两条半径之间的镂空部位形成分区孔11，所述第二圆孔部22的部分区域从所述分区孔11露出。

全文数据：

权利要求：

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