申请/专利权人：光群雷射科技股份有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651056U

主分类号：G03F1/00

分类号：G03F1/00;G03F7/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：一种压印光罩，包括：基材，具有穿透区块、对位区块及非穿透区块，基材仅使穿透区块提供的固化光线穿过，对位区块能供对位光线穿过；多个光罩对位标记，位于对位区块；以及压印层，形成于穿透区块；其中压印层能供固化光线穿过且于远离基材的表面具有单位图案，该单位图案包含：第一图案，具有第一内边缘与第一外边缘；及第二图案，具有第二内边缘与第二外边缘，并且第一内边缘与第二内边缘彼此间隔有不大于50微米的长形组版缝隙并且皆呈不规则状且形状彼此互补；第一外边缘与第二外边缘则分别位于压印层的相反两侧，并且皆呈不规则状且形状彼此互补。由此压印光罩更利于使其所转印形成的相邻任两个单位膜层之间形成不利于肉眼观察到的间隙。

主权项：1.一种压印光罩，其特征在于，所述压印光罩包括：一基材，具有一穿透区块、呈环形且围绕所述穿透区块的一对位区块及呈环形且围绕所述对位区块的一非穿透区块；其中，所述基材仅使所述穿透区块提供的一固化光线穿过，并且所述对位区块能供一对位光线穿过，所述固化光线的波长不同于所述对位光线的波长；多个光罩对位标记，位于所述对位区块；以及一压印层，形成于所述穿透区块；其中，所述压印层能供所述固化光线穿过且于远离所述基材的表面具有一单位图案，所述单位图案包含：一第一图案，具有分别位于相反两侧的一第一内边缘与一第一外边缘；及一第二图案，具有分别位于相反两侧的一第二内边缘与一第二外边缘，并且所述第一内边缘与所述第二内边缘彼此间隔有不大于50微米的一长形组版缝隙；其中，所述第一内边缘与所述第二内边缘皆呈不规则状且形状彼此互补；所述第一外边缘与所述第二外边缘则分别位于所述压印层的相反两侧，并且所述第一外边缘与所述第二外边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 光群雷射科技股份有限公司 压印光罩

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