申请/专利权人：聚灿光电科技(宿迁)有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643241U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本申请提供一种基板角度调节装置及溅射机，所述基板角度调节装置包括：机壳、固定卡扣、传动组件、伺服电机和控制器；所述机壳为圆柱体结构，所述机壳的表面设置矩形开口，所述传动组件和所述伺服电机设置在所述机壳内，所述固定卡扣设置于所述矩形开口处与所述矩形开口连接，所述传动组件的一端与所述固定卡扣套接，所述传动组件的另一端与所述伺服电机连接，所述传动组件用于将所述伺服电机与基板连接，以控制基板转动，所述伺服电机与所述控制器连接。所述基板角度调节装置可通过控制器控制所述伺服电机转动，进而控制所述传动组件转动，所述传动组件转动带动基板转动，以解决溅射机基板无法调节角度的问题。

主权项：1.一种基板角度调节装置，其特征在于，包括：机壳1、固定卡扣2、传动组件、伺服电机3和控制器4；所述机壳1为圆柱体结构，所述机壳1的表面设置矩形开口，所述传动组件和所述伺服电机3设置在所述机壳1内，所述固定卡扣2设置于所述矩形开口处与所述矩形开口连接，所述传动组件的一端与所述固定卡扣2套接，所述传动组件的另一端与所述伺服电机3连接，所述传动组件用于将所述伺服电机3与基板6连接，以控制基板6转动，所述伺服电机3与所述控制器4连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 聚灿光电科技(宿迁)有限公司 基板角度调节装置及溅射机

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