申请/专利权人：深圳市卓兴半导体科技有限公司

申请日：2023-08-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651964U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型属于固晶设备领域，尤其涉及一种虚拟像素固晶机，包括：固晶载台，所述固晶载台用于承载目标基板；供晶组件，所述供晶组件的数量至少为四个，所述供晶组件分别设置在所述固晶载台四周对应位置，所述供晶组件用于提供像素晶圆，且至少两个供晶组件所提供的像素晶圆的颜色相同；摆臂组件，所述摆臂组件的数量与所述供晶组件的数量相匹配，且所述摆臂组件分别位于所述供晶组件对应位置。本实用新型通过摆臂组件的输出端分别将与其对应的供晶组件所提供的像素晶圆搬运至固晶载台上的目标基板上，从而能够一次性装夹多个像素晶圆，实现虚拟像素模组的多个像素晶圆的固晶，提高工作效率。

主权项：1.一种虚拟像素固晶机，其特征在于，包括：固晶载台，所述固晶载台用于承载目标基板；供晶组件（100），所述供晶组件（100）的数量至少为四个，所述供晶组件（100）分别设置在所述固晶载台四周对应位置，所述供晶组件（100）用于提供像素晶圆，且至少两个供晶组件（100）所提供的像素晶圆的颜色相同；摆臂组件（200），所述摆臂组件（200）的数量与所述供晶组件（100）的数量相匹配，且所述摆臂组件（200）分别位于所述供晶组件（100）对应位置，所述摆臂组件（200）的输出端分别将与其对应的所述供晶组件（100）上的像素晶圆搬运至所述固晶载台上的目标基板上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市卓兴半导体科技有限公司 一种虚拟像素固晶机

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