申请/专利权人：上海传芯半导体有限公司

申请日：2023-11-16

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117760341A

主分类号：G01B11/30

分类号：G01B11/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：一种平坦度检测装置及方法，该装置包括光源、光束扩展器、基准棱镜、承载台、聚焦透镜、检测器和处理器，光源提供的入射光经光束扩展器转换为平行光束照射至基准棱镜并透过基准棱镜照射至待检测的透明基板，经基准棱镜和透明基板反射分别得到第一反射光和第二反射光，第一反射光和第二反射光均通过聚焦透镜聚焦至检测器，检测器接收第一反射光和第二反射光生成的干涉图案信号，处理器根据干涉图案信号计算得到透明基板的平坦度，其中，透明基板放置在承载台上，承载台具有用于盛放浸没溶液的容置腔，透明基板的一侧表面浸没于浸没溶液中，浸没溶液的折射率大于空气的折射率。本发明结构简单、成本低廉、检测准确性高，可广泛应用于工业生产。

主权项：1.一种平坦度检测装置，其特征在于，包括：光源、光束扩展器、基准棱镜、承载台、聚焦透镜、检测器和处理器，所述光源提供的入射光经所述光束扩展器转换为平行光束照射至所述基准棱镜并透过所述基准棱镜照射至待检测的透明基板，经所述基准棱镜和所述透明基板反射分别得到第一反射光和第二反射光，所述第一反射光和所述第二反射光均通过所述聚焦透镜聚焦至所述检测器，所述检测器接收所述第一反射光和所述第二反射光生成的干涉图案信号，所述处理器根据所述干涉图案信号计算得到所述透明基板的平坦度，其中，所述透明基板放置在所述承载台上，所述承载台具有用于盛放浸没溶液的容置腔，所述透明基板的一侧表面浸没于所述浸没溶液中，所述浸没溶液的折射率大于空气的折射率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海传芯半导体有限公司 平坦度检测装置及方法

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