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【发明公布】电流分布均匀的VCSEL激光器、制备方法及激光雷达_浙江睿熙科技有限公司_202311857621.7 

申请/专利权人:浙江睿熙科技有限公司

申请日:2023-12-29

公开(公告)日:2024-03-26

公开(公告)号:CN117767115A

主分类号:H01S5/183

分类号:H01S5/183;G01S7/481;G01S17/88;G01S17/06;G01S17/08

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要:本申请属于半导体技术领域,具体为一种电流分布均匀的VCSEL激光器,包括至少一个发光单元,所述发光单元包括衬底层、第一电极、第一布拉格反射镜、有源区、电流限制层、第二布拉格反射镜、第二电极以及电流扩散层,所述第二电极在所述第二布拉格反射镜上形成封闭的环,所述电流扩散层位于第二电极所形成的环内并与第二布拉格反射镜接触,所述第二电极的电流扩散至该电流扩散层上,其中扩散至电流扩散层上的电流经过第二布拉格反射镜由限制孔的中间区域进入所述有源区内。

主权项:1.一种电流分布均匀的VCSEL激光器,其中,包括至少一个发光单元,所述发光单元包括衬底层,具有顶部表面和底部表面;第一电极,位于所述衬底层的底部表面上;第一布拉格反射镜,位于所述衬底层的顶部表面上;有源区,位于所述第一布拉格反射镜远离所述衬底层的一侧;电流限制层,提供VCSEL激光器的VCSEL的光学和电学限制,该电流限制层上具有限制孔;第二布拉格反射镜,位于所述有源区远离所述衬底层的一侧;第二电极,位于所述第二布拉格反射镜远离所述衬底层的一侧上,该第二电极在第二布拉格反射镜上形成封闭的环,以及电流扩散层,位于所述第二电极形成的环内且与第二电极电性接触,第二电极的电流扩散到该电流扩散层上并经第二布拉格反射镜由限制孔的中间区域进入所述有源区。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浙江睿熙科技有限公司 电流分布均匀的VCSEL激光器、制备方法及激光雷达

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