申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所

申请日：2023-12-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878716A

主分类号：H01S5/02253

分类号：H01S5/02253;H01S5/026;H01S5/183

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及半导体激光装置技术领域，提供一种光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置，光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置，包括：VCSEL；小孔阵列结构，设置于VCSEL的出光方向；小孔阵列结构用于对外腔中各子单元激光的光束尺寸进行限制，起到滤波和优化光束质量的作用；聚焦元件，用于聚焦多个子单元激光；衍射元件用于为多个子单元激光进行衍射，形成衍射光；输出耦合镜，用于对衍射光提供部分反馈及输出；光泵浦元件，用于为VCSEL提供泵浦光。本发明通过外腔光谱合成结构实现多个子单元激光的合束，将VCSEL的高光束质量与光谱合束结合起来，可在光束质量不变的基础上实现更高的输出功率。

主权项：1.一种光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置，其特征在于，包括：VCSEL1；小孔阵列结构2，设置于所述VCSEL1的出光方向，且所述小孔阵列结构2与所述VCSEL1相适配；所述小孔阵列结构2用于对外腔中各子单元激光的光束尺寸进行限制，起到滤波和优化光束质量的作用；聚焦元件3，设置于所述小孔阵列结构2的出光方向，且所述聚焦元件3用于将多个所述子单元激光聚焦在衍射元件4的表面；衍射元件4，设置于所述聚焦元件3的出光方向，且位于所述聚焦元件3的焦平面处，且所述衍射元件4用于为多个所述子单元激光进行衍射，形成衍射光；输出耦合镜5，用于对衍射光提供部分反馈及输出；光泵浦元件6，用于为VCSEL1提供泵浦光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院理化技术研究所 光泵浦VCSEL外腔光谱合成的激光器装置

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