申请/专利权人:华为技术有限公司;深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司
申请日:2022-12-29
公开(公告)日:2024-03-26
公开(公告)号:CN116240597B
主分类号:C25D3/48
分类号:C25D3/48;C25D7/12
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.26#授权;2024.02.13#著录事项变更;2023.06.27#实质审查的生效;2023.06.09#公开
摘要:本申请实施例提供了一种电镀金镀液,包括:作为金源的氰化亚金盐、草酸盐、含铅化合物、水溶性多糖类物质和有机酸传导介质;其中,有机酸传导介质包括有机膦酸或其盐。在所述有机酸传导介质与其他组分的协同配合下,可以保证该镀液的电传导速率较高、电镀所得金凸块的表面平整度高及热处理后硬度高,特别适合小间距的半导体基片与基板之间的可靠互连。本申请实施例还提供了上述电镀金镀液的相关应用。
主权项:1.一种电镀金镀液,其特征在于,所述镀液包括作为金源的氰化亚金盐、草酸盐、含铅化合物、水溶性多糖类物质和有机酸传导介质,且不含无机酸传导盐;其中,所述有机酸传导介质包括有机膦酸或其盐,所述有机膦酸选自羟基乙叉二磷酸、氨三亚甲基膦酸、乙二胺四亚甲基膦酸中的至少一种。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 华为技术有限公司;深圳市联合蓝海应用材料科技股份有限公司 电镀金镀液及其应用
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