申请/专利权人：布鲁克纳米有限责任公司

申请日：2020-07-24

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN112304992B

主分类号：G01N23/207

分类号：G01N23/207;G01N23/20058;G01N23/203;G01N23/04;G01N23/2206;G01N23/2251

优先权：["20190726 EP 19188579.7"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2021.08.31#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：本发明涉及一种用于菊池衍射，特别是电子背向散射衍射或透射菊池衍射的检测器，检测器包括可安装至彼此的检测器主体和检测器头。其中，检测器主体包括包围被配置用于检测入射辐射的光电检测器的主体部分。检测器主体还包括相对于入射辐射的传播方向被布置在光电检测器上游的真空窗；及第一主体安装部和第二主体安装部，第一主体安装部被配置为被安装到SEM腔室端口。检测器头部包括闪烁屏和被配置为被安装到第二主体安装部的头部安装部。本发明的模块化检测器允许将检测器主体永久地安装到SEM的SEM腔室端口，并且选择性地将检测器头部安装到延伸通过SEM腔室内的SEM腔室端口的第二主体安装部分。因此，如果不执行菊池衍射，则可以空出SEM腔室。

主权项：1.一种用于菊池散射的检测器10，所述检测器10包括：可安装至彼此的检测器主体20和检测器头部30；所述检测器主体20包括包围被配置用于检测入射辐射的光电检测器24的主体部分23；相对于入射辐射的传播方向被布置在所述光电检测器24上游的真空窗25；及第一主体安装部21和第二主体安装部22，所述第一主体安装部21被配置为安装到SEM腔室端口；以及所述检测器头部30包括闪烁屏35和被配置为安装到所述第二主体安装部22的头部安装部34；所述头部安装部34包括至少一个法兰元件37，并且所述第二主体安装部22包括被配置为用于引导、接收和或紧固所述至少一个法兰元件37的至少一个接收元件26。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 布鲁克纳米有限责任公司 菊池衍射检测器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD